Solid SiC fokusring

6. Hovedanvendelsesfelter

7. Veteksi solid SiC fokusring kernefordele

Fremragende plasmakorrosionsbestandighed

Ved langvarig eksponering for stærkt ætsende plasmaer med høj densitet, såsom CF4, O2 og Cl2, er konventionelle materialer modtagelige for hurtigt slid og partikelkontamination. Vores solide SiC-fokusring udviser fremragende korrosionsbestandighed med en korrosionshastighed langt lavere end for materialer som kvarts eller aluminiumoxid. Det betyder, at den bevarer en glat overflade over tid, hvilket væsentligt reducerer risikoen for wafer-defekter forårsaget af komponentslitage, hvilket sikrer kontinuerlig og stabil masseproduktion.

Fremragende højtemperaturstabilitet og termisk styringsydelse

Halvlederætsningsprocessen genererer betydelig varme, hvilket får kammerkomponenter til at opleve dramatiske temperaturudsving. Vores fokusringe har en ekstrem lav termisk udvidelseskoefficient, der er i stand til at modstå forbigående temperaturer op til 1600°C uden revner eller deformation. Ydermere hjælper deres iboende høje termiske ledningsevne med at sprede varmen jævnt og hurtigt, hvilket effektivt forbedrer temperaturfordelingen ved waferkanten og forbedrer dervedng ætsningsensartethed og konsistens af kritiske dimensioner på tværs af hele waferen.

Ekstraordinær materialerenhed og strukturel tæthed

Vi kontrollerer strengt renheden af ​​siliciumcarbidråmaterialer (≥99,999%) og eliminerer metalforurening under sintringsprocessen for at opfylde de strenge krav til avancerede fremstillingsprocesser til kontrol af sporurenheder. Den tætte struktur dannet ved højtemperatursintring har ekstrem lav porøsitet, hvilket næsten fuldstændig blokerer indtrængning af procesgasser og biprodukter. Dette forhindrer ydeevneforringelse og partikelvækst forårsaget af intern materialenedbrydning, hvilket sikrer et rent proceskammermiljø.

Langvarig mekanisk levetid og omfattende omkostningseffektivitet

Sammenlignet med konventionelle forbrugsvarer, der kræver hyppig udskiftning, tilbyder Veteksi solide SiC-fokusringe enestående holdbarhed. De bevarer en stabil ydeevne gennem hele deres levetid, hvilket forlænger udskiftningscyklusser flere gange. Dette reducerer ikke kun omkostningerne til indkøb af reservedele direkte, men forbedrer også maskinudnyttelsen betydeligt ved at reducere nedetiden for udstyr til vedligeholdelse, hvilket resulterer i betydelige overordnede omkostningsfordele for kunderne.

Præcis størrelseskontrol og fleksible tilpasningstjenester

Vi forstår de præcise krav til forskellige maskiner og processer til forbrugsstoffer. Hver fokusring gennemgår præcisionsbearbejdning og strenge tests for at sikre kritiske dimensionstolerancer inden for ±0,05 mm. Vi tilbyder også skræddersyede tjenester, herunder tilpassede størrelser, overfladefinish (polering til Ra ≤ 0,2μm) og ledningsevnejusteringer, så de passer perfekt til dine specifikke proceskrav og anvendelsesscenarier.

For detaljerede tekniske specifikationer, hvidbøger eller prøveafprøvningsarrangementer, bedes du kontakte vores tekniske supportteam for at undersøge, hvordan Veteksemi kan forbedre din proceseffektivitet.